主機(jī)特點

• 高靈敏度－世界獨一無二的三檢測器系統(tǒng)
  安裝三個檢測器，標(biāo)準(zhǔn)配備積分球：光電倍增管用于紫外區(qū)和可見區(qū)；InGaAs和PbS檢測器用于近紅外區(qū)。InGaAs檢測器覆蓋了光電倍增管和PbS檢測器的薄弱范圍，保證了整個測量范圍的高靈敏度。
  
  
• 立體光路和超大的樣品室
  立體光路和超大樣品室以及積分球的結(jié)合使用，可以對例如FPD等大的樣品進(jìn)行無損分析。
  
  
• 深紫外的測定
  采用DUV深紫外的測定系統(tǒng)配備氮氣吹掃，可以使測量范圍擴(kuò)展到165nm。
  
  
• 應(yīng)用領(lǐng)域廣泛
  在FPD（Flat Panel Display平面顯示器，包括液晶、等離子顯示器）相關(guān)領(lǐng)域。
  在半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域，在對于12英寸的硅片的測定時，也需要有大樣品室的支持。
  在光學(xué)通信相關(guān)領(lǐng)域，經(jīng)常需要在近紅外區(qū)對防反射膜做評價（防反射膜的低透射率性能），所以近紅外的高靈敏度變得非常重要。
  在光學(xué)材料相關(guān)領(lǐng)域中，從深紫外到近紅外區(qū)都需要有很高的精度，同樣需要有無損的測定，所以同樣重視大樣品室。

主要技術(shù)指標(biāo)